MEMS（Micro Electro Mechanical System）是一种微型化的电子机械系统技术，将微纳制造技术、电子技术和机械技术相结合，制造微型化的传感器、执行器和微机电系统等。
MEMS传感器
MEMS传感器是指通过微机械加工技术制造的新型传感器，属于MEMS器件的重要分支，它们具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等特点，并广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。
MEMS技术的特点
1、微型化：其芯片尺寸基本为纳米与微米级别。
2、多样化：主要在其工艺、应用领域及材料方面多样化。
3、集成化：在功能、敏感方向不同的多个传感器集成形成阵列与系统。
4、批量化：适合大批量生产，成本不高。
5、尺寸相应现象：由于尺寸缩小也会有些影响，如尺寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等。
常见的MEMS传感器
1、MEMS压力传感器：
- 发展迅速，应用广泛。
- 根据机理不同，可分为压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器。
2、MEMS加速度传感器：
- 根据原理分为压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等。
- 应用最为广泛的还是电容式加速度传感器。
3、MEMS陀螺仪：
- 利用科里奥效应测量运动物体的角速度。
- 根据科里奥效应，在三维直角坐标中，物体沿X轴正方向运动且施加角旋转速率物体就会收到Y轴负方向的力，最后可根据电容感应结构可测量出科里奥效应产生的物理位移。
- 其有微型化、高性能、易于制造等优点，广泛应用于医疗仪器、消费电子等领域。
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